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粒子计数器在洁净室领域中的重要作用

  • 更新日期:2021-12-31      浏览次数:669
    • 粒子计数器在洁净室领域中的重要作用


      洁净室(cleanroom)这个名词和概念源于18世纪六十年代的欧洲医学,当时的理解仅限于经喷洒消毒后可以控制创部感染率的处置室、手术室这类灭菌处理的工作环境。现代洁净室虽然延用了这个名词,但在定义和内涵上都与原有的概念有根本的不同,现代洁净室形成一项专门技术,其历史不过只有半个世纪。随着科技的发展洁净技术(cleanroom)是适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求而诞生的一门新兴技术。 本文主要从洁净室的等级标准、领域划分、等级要求几个方面讲述粒子计数器在洁净室的检测作用。

      洁净室等级标准

      洁净室等级标准和国际标准ISO 14644一样,都是根据悬浮粒子浓度这个指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

      洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

      ISO14644-1:2015规定的洁净度等级以及传统分级

      ISO等级序数(N)大于等于表中被考虑粒径的粒子最大允许浓度(个/立方米)
      0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm
      110bdddde
      210024b10bdde
      31,00023710235bde
      410,0002,3701,02035283be
      5100,00023,70010,2003,520832d,e,f
      61,000,000237,000102,00035,2008,320293
      7ccc352,00083,2002,930
      8ccc3,520,000832,00029,300
      9gccc35,200,0008,320,000293,000

      洁净室的领域划分

      洁净室的划分是以单位体积内所含灰尘数来计算的,数目越小表示洁净等级越高,一般每一级的划分都有不同直径灰尘数的要求,比如一般药厂、汽车4s店,十万级或万级就够了,但这对电子行业(尤其是微电子行业)仅仅是要求,比如半导体行业等级要求的测试间一般都不能高于1万级。下面我们通过工业无尘室详细了解一下。

      依据美国联邦政府颁布的标准,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5µm,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗。并且通过FS209E标准划分,每立方英尺里面允许含有最多的0.5微米尘埃粒子的数量就是洁净室的等级,比如每立方英尺允许含有最多1000个0.5微米的例子,那么这个洁净室就是千级,如果是10000个粒子就是万级,总共是从一级,十级,百级,千级,万级到百万级;工业无尘室主要控制无生命微粒对工作对象的污染,其内部一般保持正压,它适用于精密工业、电子工业、航天工业、化学工业、印刷工业等部门。工业无尘车间只要控制参数是温度、湿度、风速、流场、洁净度。因此为了满足净化车间内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,300平方米的车间,高度为2.5米,如果是万级,就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h(换气次数是≥15次/h)。此外为保持无尘室的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩。所以每间洁净室都配有高效空气颗粒物 (HEPA) 过滤器,防止空气传播生物与病毒生物的传播。过滤器还采用了正压设计,将未过滤的空气隔离在房间外部,同时风淋室可在工作人员与产品进入房间前去除沾染的颗粒物。洁净室的审核维护流程包括对微生物的计数,确保符合洁净度和生物负载水平的要求。


     
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